[实用新型]多功能探针头无效
| 申请号： | 93217110.9 | 申请日： | 1993-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN2181697Y | 公开（公告）日： | 1994-11-02 |
| 发明（设计）人： | 王世进;张郁华 | 申请（专利权）人： | 广州半导体材料研究所;广东省有色金属工业总公司天河科技开发公司 |
| 主分类号： | G01R15/00 | 分类号： | G01R15/00;G01R27/00 |
| 代理公司： | 广东专利事务所 | 代理人： | 李志明 |
| 地址： | 51061*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种多功能探针头，由探针、弹簧片、套筒、导线等组成，采用耙形弹簧片并用环氧定位环安装定位的结构，使弹簧片与探针达到准确对位，探针恒压可靠，从而提高探针头的测量精度和保护被测物体表面不易损伤。本实用新型结构精密，耙形弹簧片占用平面长度短，体积小，加工制造容易，成本低，并可针对不同的测量对象，选用特定材料及形状的金属探针，具有可以测量半导体材料、功能材料、导电薄膜的电阻率、面电阻、型号及击穿电压等多种功能。 | ||
| 搜索关键词： | 多功能 探针 | ||
【主权项】：
1、一种多功能探头针头，由上盖(2)、套筒(3)、锥套(4)、探针(6)、弹簧片(7)、环氧定位环(11)及导线(12)等组成，其特征在于弹簧片(7)是一个耙形弹簧片，耙形弹簧片(7)安装固定在环氧定位环(11)上，其耙条端弹压在探针(6)上，达到耙形弹簧片(7)与探针(6)的准确对位。
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