[发明专利]微小极间距电容式力敏传感器及其制造方法

摘要

本发明涉及一种微小极间距的电容式力敏传感器以及其制造方法，属物理测量仪器技术领域。传感器由膜片，边框、定极板、可动极板和支架等各部分组成。采用熔封玻璃或其它粘结材料按需要把传感电容两极板精确固定在几微米到几十微米的距离上。传感器正常工作时，熔封玻璃或其它粘结材料不额外受力，没有应变，因而对传感器的工作没有任何影响。利用本发明的方法，可以制出多种体积小、灵敏度高、迟滞小、量程宽、温漂小的电容式力敏传感器。

主权项

1、一种微小极间距的电容式力敏传感器，包括膜片、边框、定极板、可动极板，其特征在于还包括支架，所述的边框沿膜片四周与膜片封成一体，或者边框与膜片本身为一个整体；边框和膜片的一侧表面镀有导电层；所述的可动极板的一侧表面镀有导电层，并用导电玻璃熔封材料将可动极板封在所述的膜片的圆心部位；所述的支架封在边框上，所述的定极板的一侧表面镀有导电层，并用导电玻璃熔封材料将定极板封在所述的支架上；定极板上的导电层与可动极板的导电层相对。