[发明专利]采用晶态硅薄膜阻光层的液晶光阀及其制造方法

摘要

一种液晶光阀，其特点是采用晶态硅薄膜作为阻光层(8)，解决了晶格失配问题。而且该阻光层与非晶态硅薄膜光导层(9)形成异质结，从而在更大范围内改善了液晶光阀的分辨率、对比度等性能。一种液晶光阀的制造方法，其特征是非晶硅薄膜光导层(9)和晶态硅薄膜阻光层(8)采用辉光放电等离子体化学气相沉积法在同一反应室内制备，从而可保证获得良好的异质结。因此，可获得性能优良的液晶光阀。

主权项

1.一种液晶光阀，在基片玻璃[1]和[11]上分别有透明导电膜[2]和[10]，在导电膜[10]上为光导层[9]，光导层与其相邻的阻光层[8]形成异质结，在阻光层上为高反膜[7]，在定向膜[3]和[6]以及衬垫[4a]和[4b]之间为向列型液晶[5]，低压交变电源[12]接到导电膜[2]和[10]上，其特征是阻光层[8]采用晶态硅薄膜，晶态硅薄膜中晶体的体积含量大于50％；并掺入微量磷[P]或硼[B]，掺入浓度为B2H6/SiH4或PH3/SiH4为0～10-3；晶态硅薄膜的暗电导率为10-5～10-8(Ω·cm)-1光电导率为10-5～10-6(Ω·cm)-1；光学能隙为1.20～1.60ev；晶态硅/非晶态硅异质结的光吸收系数在可见光范围为104～105cm-1；I-V特性正反向电流之比在电压大于1伏区域为103～105；该异质结的内建电场为0.1～0.4V。