[发明专利]微米、亚微米电子束曝光机工作台的吊装系统无效
| 申请号： | 93115250.X | 申请日： | 1993-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN1050204C | 公开（公告）日： | 2000-03-08 |
| 发明（设计）人： | 周振华;王国瑕;赵冬青;周锋 | 申请（专利权）人： | 山东工业大学 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 山东工业大学专利事务所 | 代理人： | 张希华,耿庆章 |
| 地址： | 250014*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 一种微米、亚微米电子束曝光机工作台的吊装系统，属于光刻技术领域，由工作台、激光检测系统、真空箱、吊杆组成，其特征在于镜筒、工作台、激光检测系统有共同的安装基准一真空箱顶板。大大减少了定位误差、图形误差，提高了套准精度和拼接精度，选用青花岗石做工作台大底座，刚性好、重量轻（为钢材的１／２．５），价格便宜，工艺性好，选材方便。 | ||
| 搜索关键词： | 微米 电子束 曝光 机工 吊装 系统 | ||
【主权项】：
1.一种微米、亚微米电子束曝光机工作台的吊装系统，由工作台、激光检测系统、真空箱、吊杆组成。其特征在于工作台是采用青花岗石做大底座、装在真空箱中、通过吊杆吊装在真空箱顶板的悬挂板上、与激光检测系统、镜筒拥有一个共同的安装基准——真空箱顶板。
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