[发明专利]高精度激光腔变位移/折射率测量方法及其装置

摘要

本发明属于激光测量技术领域，本发明提出一种激光腔变位移／空气折射率测量方法，利用氦氖激光器腔内光程差或腔长变化会引起输出功率出现兰姆凹陷、换模凹陷及频率分裂量改变的现象，通过将被测物与腔反射镜固定在一起，或腔内引起空气折射率的变化，测出功率周期性出现的凹陷数，即可得到被测物位移量或腔内空气折射率的变化值。该方法的实现装置结构简单，成本低，装配调整容易，测量精度高。适用于测量位移及空气折射率的各种场合。

主权项

1、一种高精度位移测量方法，其特征在于采用半内腔单模氦氖激光器为传感器，该激光器的增益管二端分别固定一片谐振腔反射镜及增透窗片，另一片谐振腔反射镜固定在被测物上，被测物发生位移时，探测器探测出激光输出功率周期性变化的信号，计数器记录功率凹陷数，处理器以此对应地计算出激光谐振腔长的变化值。