[发明专利]对于表面进行光学扫描用的装置无效
| 申请号： | 93106984.X | 申请日： | 1993-06-16 |
| 公开（公告）号： | CN1080418A | 公开（公告）日： | 1994-01-05 |
| 发明（设计）人： | G·E·范洛斯马伦 | 申请（专利权）人： | 菲利浦电子有限公司 |
| 主分类号： | G06K7/10 | 分类号： | G06K7/10;G02B26/10;G11B7/125 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 王岳,王忠忠 |
| 地址： | 荷兰艾*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明所述的装置用于以物镜(10)形成的焦点(11)对表面(2)进行光学扫描。该物镜以电磁方式悬置在静止不动的线圈系统(14)中，此线圈系统包括多个在给定方向上一个处在另一个后面的线圈对。该线圈系统可驱使物镜以五或六个自由度运动。光束经过转镜(22)和扫描镜头(23)平行其自身移动，以在上述方向上跟踪物镜的运动。转换器(96)只激励线圈系统中那些在给定瞬间靠近物镜系统的线圈。 | ||
| 搜索关键词： | 对于 表面 进行 光学 扫描 装置 | ||
【主权项】：
1、一种用于在XYZ直角座标系中于X方向上在给定的行程范围内对基本上平行于X-Y平面的表面进行光学扫描用的装置，该装置包括用于提供辐射光束的辐射源；用于将光束沿Z方向聚焦在该表面上的物镜，所述物镜安装在包括永久磁铁在内的物镜系统中；以及以电磁方式悬置及驱动物镜系统的线圈系统，所述线圈系统包括多个线圈对，每一线圈对又包括沿Z方向一个安装在另一个上方的两个线圈，其特征在于，线圈系统按静止不动方式固定在扫描装置中，并且包括位于物镜系统两侧的行程长度范围内的两列彼此平行的线圈对，与永久磁铁按磁性方式配合贯穿整个行程。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于菲利浦电子有限公司，未经菲利浦电子有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/93106984.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：弹球盘弹子检测装置
- 下一篇：扁平形阴极射线管的导电膜及其制造方法
