[发明专利]二坐标微驱动器无效
| 申请号： | 92114074.6 | 申请日： | 1992-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN1076563A | 公开（公告）日： | 1993-09-22 |
| 发明（设计）人： | 杨宜民 | 申请（专利权）人： | 广东工学院 |
| 主分类号： | H02N2/00 | 分类号： | H02N2/00 |
| 代理公司： | 广东省高等学校专利事务所 | 代理人： | 何淑珍 |
| 地址： | 510000 *** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明的二坐标微驱动器，采用压电元件、圆弧缺口支点、无摩擦的一体化机构，适用于一般超高精度的二轴平面驱动，可用于微型机器人，IC及超导元件等一切精细加工工作台，特别适用作细胞处理工作台的直接处理，其技术指标可达分辨率0.1μm，可控精度0.03μm，带宽400Hz以上。 | ||
| 搜索关键词： | 坐标 驱动器 | ||
【主权项】：
本发明的二坐标微驱动器采用带压电元件，圆弧缺口支点，无摩擦的一体化机构，其特征是：驱动器可以直接驱动工作台工作，压电元件No.1PZT，No.2PZT受控伸长时，输出端F作向上和向右运动，由于可动部件No.1PZT和No.2PZT可同时动作，于是控制了输出端可以在平面内的运动。
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