[发明专利]电容式位移传感器无效
| 申请号： | 92114042.8 | 申请日： | 1992-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN1033339C | 公开（公告）日： | 1996-11-20 |
| 发明（设计）人： | 马礼耀 | 申请（专利权）人： | 航空航天工业部第一研究院第一○一研究所 |
| 主分类号： | G01B7/02 | 分类号： | G01B7/02;G01D5/24;G01R27/26 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100074 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种新型电容式位移传感器，同时展宽发送电极和接收电极，通过信号相序的适当排列组合，彻底摆脱了电极节距和相移原有的固定关系。可以在不影响测量精度和分辨率的情况下降低加工要求，或者在相同的加工条件下提高测量的精度和分辨率。它既可用于测量线位移，也能用于测量角位移。 | ||
| 搜索关键词： | 电容 位移 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种电容式位移传感器，其中电容器的两个电极相对排列，作为传感器的发送电极和接收电极，其特征在于：同时展宽发送电极片和接收电极片，其中，发送电极的节距P1等于位移节距W的M倍，接收电极的节距P2等于位移节距W的N倍，M、N为大于或等于1的整数，且M不等于N；发送电极的组数等于N的整数倍；接收电极片的宽度等于W/K的整数倍，但不等于位移节距W的整数倍，K为发送电极组内的电极片数，且K是大于或等于3的整数；供给发送电极片的信号相位与电极片前沿对应的展宽前供给发送电极片的信号相位一致。
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