[实用新型]一种超精密表面非接触测量装置

摘要

该装置涉及超精密表面轮廓非接触测量，它由平行两光束外差干涉系统构成，包括激光器(1)扩束透镜(2)、分光镜(3)、反射镜(4)及声光调制器(5)、(6)分光镜(7)、(11)、(10)、分光镜(8)、(9)等。该装置实现了将测量面同时设计成参考面的目的，使机械运动、随机偏摇误差得到消除，同时也避免了光学元件设计、加工及光路调整的困难，制造成本降低。被测对象可以是磁盘等高精密表面。

主权项

1、一种超精密表面非接触测量装置，其特征为该装置由平行两光束外差干涉系统构成，包括由激光器(1)发出的单色光作为光源，经扩束透镜(2)后，由分光镜(3)和反射镜(4)形成平行两光束，分别通过声光调制器(5)和(6)，分光镜(7)、(11)、(10)，分光镜(8)、(9)使两束光在探测器(9)处相干产生拍频信号(相位检测参考信号)，平行两光束中一路经光阑(21)、透镜(20)、分光镜(19)、反射镜(18)至被测物(15)表面，反射后至探测器(14)，另一路经光阑(12)分光镜(13)、反射镜(17)、显微透镜(16)至被测物(15)表面反射后至探测器(14)，在探测器(14)处相干形成第二组拍频信号。