[实用新型]一种新型的扫描隧道显微镜体

摘要

一种新型的扫描隧道显微镜体，其微调采用差动压缩弹簧，多级齿轮减速和二级调速步进电机驱动电路，提高了调节精度。隔振除采用弹簧悬挂式平台外，还采用了排斥性磁阻尼，增强了抗外界振动干扰的能力。试样支承采用了移动式结构，增大了被测试样的移动范围。它能在空气和液体环境中工作，因此可在机械、电子和生物工程等领域中作为微位移机构使用。

主权项

1、一种新型的扫描隧道显微镜体，是由粗调装置，微调装置，隔振装置，试样支撑装置及二级调速驱动电路组成，其特征在于微调机构是通过由时基电路30，环行分配器31，功率放大电路32组成二级调速电机驱动电路以控制步进电机转速，带动总减速比为1∶15-50的多级减速齿轮组25减速后使微进传动螺杆5在微进给螺母座6内旋转，差动压缩弹簧8受压缩，微进给滑动支承9上升，位于微进给滑动支承9锥形孔上的一个钢球10顶着压电陶瓷固定板15上的垫块，以试样固定基础板20的探针试样间隙粗调旋纽上对称分布的两颗钢球10为支点，支点连线两侧的支臂比为40∶1，从而使压电陶瓷固定板15缓慢上升或下降；在微进给传动齿轮4的下面，限位器座板上面安装了限位开关3，限制微进传动螺杆5的行程；三对互成120°园心角且每对极性相同的磁阻尼器2分别安装在基痤1和悬吊平台的电机固定基础板28上；在压电陶瓷固定板15上，沿两个探针试样间隙粗调旋纽22上的钢球支点连线的垂直平分线方向，加工一以该垂直平分线为对称轴且过板中心的方形槽，槽内有一孔用于安装压电陶瓷管；在试样固定基础板20上与上述方形槽相对应的位置有另一方形槽，在槽内与压电陶瓷固定板上的压电陶瓷管16对应位置上加工一阶梯形通孔，安装试样支承装置。