[实用新型]用于扩散硅力敏传感器的微压放大器

摘要

一种用于提高扩散硅力敏传感器测试灵敏度的微压力放大器，是用两个直径不同的波纹管筒体制成密封腔体，其内部都充满传压介质硅油，使之内腔与传感器中的硅油相连通，而外腔与测点相连通。测点的微压引起外腔受张，而内腔也按一定比例增大此微压的附加张力，并在传感器的量程中得到显示，从而实现用中低压量程传感器量测微压(差)信号，拓宽该力敏传感器的应用范围。

主权项

1、一种用于扩散硅力敏传感器测试灵敏度的微压力放大器，其特征是在一个园柱形基座1上同轴装有直径不同、高度相同的内、外两个波纹管筒体3和4，其顶端则有一块盖板5与波纹管筒体3、4相接，使得在内、外波纹管筒体内各自形成封闭的内腔3A和外腔4A，其中内腔中充满传压介质硅油，并由基座1中间的通孔6与装在基座1另一侧螺孔8上的压力传感器10(虚线所示)相连通，外腔中也充满传压介质硅油，也由基座1上的小孔9与测点相连通，测点是通过把与测试引压点相连通的管接头拧入基体1侧壁上的螺孔7，再由小孔9与外腔构成通路的，在盖板5与波纹管连接时，应使得自由状态下内波纹管处于受张(拉)状态，而使外波纹管处于受压状态，在波纹管筒体外侧的园柱形壳体2与基座1通过螺纹联接成一体。