[发明专利]碳化硅纤维高频热反应装置

摘要

本发明涉及到一种利用气相沉积法制造碳化硅纤维的专用装置，本发明利用高频无接触式加热系统取代了传统的直流加热系统。装置中包括收、放丝机构，可导入反应气体的石英热反应器和高频加热系统三部分组成。高频加热系统中由射频发生器产生高能量射频电波，通过同轴传输电缆直联至同轴型反相激励式对称耦合腔，套装在石英热反应器上，在射频电流激励下，在耦合腔之间形成轴向匀强电磁场实现对载体丝加热，并完成反应气体分解并以sic形式沉积的过程。

主权项

1.一种碳化硅纤维高频热反应装置，装置中包括收放系机构(1、2)，可导入反应气体的石英热反应器(7)和载体丝的加热系统三部分，其中载体丝加热系统由射频发生器(13)，同轴电缆传输线(12)和射频耦合器三部分组成，射频耦合器主体套装在石英热反应器(7)上，石英热反应器(7)呈细长管状结构，两端收缩封口处留有进丝孔(7A)和出丝孔(7B)，两端侧面设置有反应气体入口(7C)和保护气体入口(7D)，中间部位设置有排气口(7E)，同轴传输电缆(12)连接在射频耦合器和射频发生器(13)之间，其特征在于：a.射频耦合器结构中包括反相激励式对称耦合腔(3、4)，设置在对称耦合腔(3、4)两端的高频扼流器(5、6)，连接对称耦合腔(3、4)的一条入/2波长线(8)，装配在左、右耦合腔(3、4)之间由可变形金属框构成的等温调节线(11)和等位金属筒(9)。b.同轴电缆线(12)和入/2波长线(8)之间增设一个阻抗区匹配箱(10)。