[发明专利]分压式射频激励全金属波导激光器

摘要

本发明涉及射频激励全金属波导激光器。它的电极、波导侧壁、隔离板、紧固压板均由真空金属材料制成，形成了金属波导输出。对电极、波导侧壁用铝合金材料，表面经阳极氧化处理形成了介质膜波导输出。由于波导的上下有厚度相同薄的绝缘垫形成了空气隙的对称分布。使其等效电容相等，实现了均分压射频放电。能和普通的射频源配套使用。由于它采用双向导热，冷却效果好。它的结构简单，加工工艺方便，使成本大大降低，能推广应用。

主权项

1.一种金属结构的射频激励气体激光器，由电极、射频源、紧固螺钉组成，电极是金属材料制成，工作介质是气体及其混合物，其特征是电极、波导侧壁、隔离板、紧固压板均由真空金属材料制成，电极只用上电极和下电极两个电极，上下电极之间有两块波导侧壁以构成激励腔，上电极、下电极、波导侧壁用铝合金制成，并在其表面经过阳极氧化处理，(即草酸阳极氧化处理或低温硫酸阳极氧化处理或镀以三氧化铝)，形成介质膜波导、在上电极和紧固压板之间有隔离板，在波导侧壁和上下电极之间，隔离板与紧固压板之间，隔离板与上电极之间，均有相同厚度的绝缘垫，隔离板和紧固压板的中心均有一个使电极引线通过的孔，上电极引线穿过隔离板和紧固压板的孔接到射频源RF下电极接地，上电极和下电极之间的垂直距离d为1-8mm。