[发明专利]多路复用激光调频外差干涉光纤位移测量仪

摘要

一种多路复用激光调频外差干涉光纤位移测量仪，属于对位移量的精密测量。本发明采用同一光源的光引入光纤网络回路中形成多个光纤干涉仪，经频域滤波分别同时进行检测各个干涉信号。本发明适用于多点(维)远距离同时检测，每一路的测量范围不小于1mm，测量精度不低于0.05μm，并适用于表面粗糙度具有以上光洁度的物体的测量，具有灵敏度高，抗电磁干扰，非接触式测量等优点，本发明测头体积小、结构紧凑、成本较低，具有广阔的应用领域。

主权项

1.多路复用激光调频外差干涉光纤位移测量仪，由半导体激光器、激光调频电源、耦合透镜、光纤和光纤定向耦合器、光纤测头、光电检测器及信号检测系统等部件所组成，其特征在于由所说的耦合透镜、光纤及定向耦合器构成的光纤网络回路组成多个共光源光纤外差干涉仪，即由所说的半导体激光发出的频率被调制的激光经所说的耦合透镜进入光纤，该光纤另一端与所说的定向耦合器相连，所说的激光束经该定向耦合器分成多束激光，由多路光纤分别导出，每路光纤输出端装有所说的测头，该测头端面为部分反射面，该路光束的一部分由该测头出射到被测物点，反射后经该测头进入光纤作为探测光，该光束的另一部分经测头端面直接反射回光纤作为参考光，所说探测光与参考光共光路，它们相互干涉后由所说的光电检测器接收，构成一个光纤外差干涉仪，同样所说的各路光构成多个光纤外差干涉仪，所说的多路光纤输出端的测头端面与所测点的距离按不同的预定距离设置，从而使每路测点的拍频信号互不相同，由同一个光电检测器接收，构成分频的多路复用。