[实用新型]光学位移传感器无效

专利信息
申请号: 89203856.X 申请日: 1989-04-06
公开(公告)号: CN2047780U 公开(公告)日: 1989-11-15
发明(设计)人: 巩马理;潘龙法;范易伟;徐端颐 申请(专利权)人: 清华大学
主分类号: G01B11/02 分类号: G01B11/02
代理公司: 清华大学专利事务所 代理人: 廖元秋
地址: 北京市海*** 国省代码: 北京;11
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 一种光学位移传感器,属于微小位移测量的光学仪器。本实用新型是一种非接触式光学位移传感器,其特点是不用辅助光学元件,而是采用离轴设置的象限分割光电探测器直接探测被测物的反射光。该仪器结构简单,装调方便,成本低廉。
搜索关键词: 光学 位移 传感器
【主权项】:
1、一种光学位移传感器,由探测光源[1]、分光元件[3]、会聚透镜[4]和二象限光电探测器[6]所组成,其特征在于所说的二象线光电探测器的象线分割线与该分光元件反射光束光轴有一定间距ΔA。
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