[实用新型]精密长度测量与控制实时综合修正方法及其装置

摘要

本实用新型属于计量技术与控制技术领域，是一种对长度测量和位移控制时的He—Ne激光波长类长度基准器及其测长系统以及被测工件的各实时影响因素进行不用传感器采样的总体性综合修正的装置。主要由长度基准讯号交换系统，实时修正数据处理系统，终端显示记录控制系统组成，其始终直接溯源于He—Ne激光波长，能即时直接测量和显示被测工件的标准长度值。具有不需要传感器、量程大、精度高、操作便、应用广成本低等系列积极效果。

主权项

1、一种以He-Ne激光波长或模拟He-Ne激光波长的计量光栅、感应同步器为长度基准器，主要用于修正长度基准传递、位移控制和精密测量过程中计量误差的装置，其特征在于，由长度基准始终符合溯源原则并为三级近似的长度基准讯号变换系统Ⅰ、实时修正数据处理系统Ⅱ，终端显示记录控制系统Ⅲ组成，a.长度基准讯号变换系统Ⅰ包含He-Ne激光类长度基准器，如激光干涉仪，光栅读数头，感应同步器装置之类位移传感器1、四相讯号接收转换器2、运算放大器3、舒密特整形器4、倍频器5和主要由模拟讯号发生器构成的调试检测器6组成，b.实时修正数据处理系统Ⅱ由四进制可逆计数器构成的一级近似器7、与运算器8、六进制可逆计数器构成的二级近似器9、或运算器10，四只十进制可逆计数器构成的三级近似器11，四位十进制拨码盘12、译出器13、取数器14、总输出器15和循环计数复位控制器16组成，终端显示记录控制系统Ⅲ由显示记录器17或再加上终端数据记录四18组成，