[其他]新型水平滑动石墨舟无效
| 申请号： | 88201086 | 申请日： | 1988-02-05 |
| 公开（公告）号： | CN88201086U | 公开（公告）日： | 1988-08-24 |
| 发明（设计）人： | 孙成城;薛保兴;何淑芳 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | H01L21/208 | 分类号： | H01L21/208;C30B19/00;C30B35/00 |
| 代理公司： | 清华大学专利事务所 | 代理人： | 廖元秋,胡兰芝 |
| 地址： | 北京市海*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种新型水平滑动石墨舟，属于半导体光电子学领域的半导体工艺设备的改进，其特点在于溶液池为圆形且尺寸需计算得出，目的在于当所需溶剂放入池内熔化后溶液外边界与池的内边界密合，以保证其后加入的熔质和掺杂物完全被溶液所包熔。实验表明，这种舟生长出的外延片表面光亮、结线平整、晶格匹配，从而大大提高了光电器件的成品率。 | ||
| 搜索关键词： | 新型 水平 滑动 石墨 | ||
【主权项】：
1、一种用于液相外延的水平滑动石墨舟，由舟体[4]、衬底托板[5]、滑动溶液池板[6]及溶池盖[7]所组成，其特征在于滑动溶液池板上有多个溶液池[8]，其水平截面的内边界是园形，园形直径d由公式m=(πd＇3)/6D求d′，使d=d′，式中m为溶液池溶剂的质量，D为溶剂的比重，d′为熔剂呈球状时的直径。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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