[其他]小型激光精密测长仪

摘要

一种小型激光精密测长仪器，其激光干涉仪光路是无扩束望远镜的细光束干涉仪光路，精密导轨采用两根圆柱形导轨，传动丝杠与两根圆柱形导轨三轴平行放置，且呈阶梯式分布。本仪器光学元件尺寸小，机械结构紧凑，体积小，重量轻，且重心低，稳定性好，受振动影响小；既能进行接触测量，亦能进行非接触无损测量；加工容易，造价低，对使用环境条件要求低，适于推广应用。可广泛用于精密零部件的测量。

主权项

1、一种小型激光精密测长仪，由He-Ne激光器、光程差连续可变的双光束激光干涉仪光路、精密导轨、光电变换器、信号处理器、电子计数器、数据处理器和测量头等组成，其特征在于：所述激光干涉仪光路是无扩束望远镜的细光束干涉仪光路，精密导轨是采用两根圆柱形导轨，其轴与传动丝杠轴平行放置，测量头与支撑臂的连接部设有一个供更换测量头的定位连接件，测量头是接触测量头或非接触无损测量头，He-Ne激光器是短腔自由运转激光器或稳频激光器。