[其他]新型等离子体成像仪无效
| 申请号： | 86210073 | 申请日： | 1986-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN86210073U | 公开（公告）日： | 1987-10-07 |
| 发明（设计）人： | 周岳亮;顾世杰;陈正豪;吕惠宾;马小娟;刘宝秀;刘鸿兴;崔大复 | 申请（专利权）人： | 中国科学院物理研究所;北京安全局微技术研究所 |
| 主分类号： | H01J37/00 | 分类号： | H01J37/00 |
| 代理公司： | 中国科学院专利事务所 | 代理人： | 高存秀 |
| 地址： | 北京市6*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种等离子体成像仪，结构简单，操作方便，成本低廉。该仪器可将5-100μm的表面起伏信号转变为不同层次的黑白信号，从而可获得凹凸分布花样的照片，其分辨率高达100Lines/mm。本实用新型由上、下一对金属电极，扫描装置、抽气装置、高压电源和机壳组成。本实用新型可用于半导体、晶体、玻璃、金属、纸张以及各种薄膜表面的检测，尤其在公安检测方面有重要的应用。 | ||
| 搜索关键词： | 新型 等离子体 成像 | ||
【主权项】：
1、一种新型的等离子体成像仪，它包括上下一对金属电极和高压射频电源，其特征在于它具有扫描装置和抽气、充气装置。
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