[其他]平行场空心阴极电子枪

摘要

本实用新型属于真空镀膜机中的电子枪，它改变了传统的空心阴极电子枪中的电场与磁场相垂直的结构，采用了电场与磁场相平行的布置方式。使空心阴极聚焦极与其空心阴极共轴，其空心阴极聚焦极与坩埚聚焦极的结构及参数完全相同，其间的水平与垂直距离相等。废弃了传统的辅助阳极，采用充气管兼做轰击极。取消了支承机构和冷却装置。从而使电子枪的结构大为简化，并具有体积小，成本低，操作方便，离化率高，性能稳定等优点。

主权项

1、一种包含有空心阴极〔1〕及其聚焦极〔3〕、坩埚〔11〕及其聚焦极〔7〕、工件转架〔4〕、电热器〔5〕、充气管〔9〕的空心阴极电子枪，其特征在于，该电子枪中的空心阴极聚焦极〔3〕与空心阴极〔1〕共轴，偏心距为零，其空心阴极聚焦极〔3〕与坩埚聚焦极〔7〕的结构及参数完全相同，其间的水平与垂直距离相等，形成电场与磁场相平行，废弃了传统的辅助阳极，采用充气管〔9〕兼做轰击极，在坩埚水冷电极上端加一可调整的永久磁铁〔10〕。