[其他]接触信号测头

摘要

一个接触信号测头，接触探针基座由固定在测头外壳内的支座活动支撑，Z轴活动支撑机构将接触探针安装在接触探针基座上。Z轴支撑机构包括固定在探针基座上下端的膜片、与膜片中部紧固的一根支撑轴，探针固定在支撑轴下端。当接触探针接触工件的外表面时，探针基座和Z轴支撑机构能支撑接触探针相对于测头作三维自由运动。这套装置有一个电接触信号检测器，它包括许多能产生出电接触信号的磁心和检测线圈。

主权项

1、一个电测接触探针与工件接触的接触信号测头，包括一个测头外壳和一个接触探针基座，基座定位于该测头外壳内，并能在多方向上移动。有单一的停顿位置，该基座夹持该接触探针，该测头的特征在于测头包括分别安装在该接触探针基座上部和下部的上膜片和下膜片，膜片支撑着接触探针套体，装有接触探针的套体相对于接触探针基座是可以移动的，在测头内有许多对安装在该接触探针套体上的磁心和分别与这些磁心相对的另外许多对安装在接触探针基座上的检测线圈，因此，通过磁心对和检测线圈对的相互作用，可以电测该接触探针在多个方向上的位移。