[发明专利]正性辐射线敏感涂层液无效
| 申请号： | 85105070.0 | 申请日： | 1985-07-03 |
| 公开（公告）号： | CN1030113C | 公开（公告）日： | 1995-10-18 |
| 发明（设计）人： | 汉斯·鲁克特;拉尔夫·奥兰马克 | 申请（专利权）人： | 赫彻斯特股份公司 |
| 主分类号： | G03C1/49 | 分类号： | G03C1/49 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 俞辉君,戴真秀 |
| 地址： | 联邦德*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明描述了一种正性辐射线敏感的涂层液，其中含有辐射线敏感的化合物(例如，1，2-萘醌二叠氮化物)或者辐射线敏感的化合物的组合物(例如由至少具有一个可以被酸裂解的C-O-C键的化合物，与辐射线能使之形成强酸的化合物组成的)，以及有机溶剂或者有机溶剂混合物作为基本成分。所说的溶剂混合物，至少大部分是由1，2-丙二醇的单C1烷基醚至单C4烷基醚所组成。与已知的正性光致抗蚀溶液相比，这个溶液的毒性小，具有较好的涂层均化性。 | ||
| 搜索关键词： | 辐射 敏感 涂层 | ||
【主权项】：
1.正性辐射敏感涂层液，其中含有：a)10-50％(重量)的总固体物质，该总固体物质相对于该固体物质的总重量计含3％-50％(重量)辐射线敏感的化合物或者辐射线敏感的化合物的组合物，该组合物含0.1％至10％(重量)可辐射形成酸的化合物和8％至65％(重量)可被该酸裂解的化合物，以及b)90％-50％(重量)的有机溶剂或者有机溶剂混合物，相对于该溶剂或溶剂混合物的总重量计，所说的溶剂或溶剂混合物含65-100％(重量)1，2-丙二醇的单一C1-C4-烷基醚。
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