[其他]辉光放电阴极输电装置金属与非金属相接触的新结构无效
申请号: | 85103601 | 申请日: | 1985-05-16 |
公开(公告)号: | CN85103601A | 公开(公告)日: | 1986-11-19 |
发明(设计)人: | 杨永滋 | 申请(专利权)人: | 杨永滋 |
主分类号: | C23C8/36 | 分类号: | C23C8/36 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 北京市回*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 辉光放电阴极输电装置金属与非金属相接触的新结构,是在工业热处理使用的辉光离子渗氮设备阴极输电装置产生弧光放电工作中不稳定而发明制造的。新结构系无护隙装置,保护套用绝缘材料直接固定于阴极,其本身不带电位,在离子轰击下,引不起次级电子发射产生的弧光放电为防止保护套被溅射物质覆盖导电,表面增加了几道沟槽。 | ||
搜索关键词: | 辉光 放电 阴极 输电 装置 金属 非金属 相接 结构 | ||
【主权项】:
1、辉光放电阴极输电装置,包括阴极盘、阳极底盘、阴极棒、隔离瓷管、秘封图,其中园型输电保护套,系非金属绝缘材料耐高温可加工陶瓷和熔铸云母所制成。
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