[发明专利]一种定向凝固生长太阳能电池用的多晶硅锭工艺无效
申请号: | 85100529.2 | 申请日: | 1985-04-01 |
公开(公告)号: | CN1005625B | 公开(公告)日: | 1989-11-01 |
发明(设计)人: | 唐厚舜;佘夕同 | 申请(专利权)人: | 复旦大学 |
主分类号: | C01B33/02 | 分类号: | C01B33/02;C30B11/20 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 上海市邯郸*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明属于半导体材料硅晶体的制备。以高性能的石墨块组合成模具,用去离子水等作调料,将经处理的氮化硅粉料调成糊状,作脱模剂,用氩气和氮气为气氛,熔化时模具悬挂,凝固时模具支撑在水冷却的下转轴上,在下降模具的同时增大冷却水流建,从熔硅从模具底始定向凝固,使用本发明可得无气孔、无裂缝的完整方锭,晶粒呈柱状,晶宽达毫米级,掺杂可控,制作的太阳能电池性能良好,全面积转换率最佳值达11.3%。 | ||
搜索关键词: | 一种 定向 凝固 生长 太阳能电池 多晶 工艺 | ||
【主权项】:
1.一种以定向凝固法生长太阳能电池用多晶硅锭工艺,包括使用石墨模具和氮化硅脱模剂,在加温过程中充入氮气,通过调节功率和调节水流速度的水冷却方式控制多晶硅生长所需的热场,其特征在于:(1)上述石墨模具为组合式。熔硅时悬挂干炉内,形状为方柱筒形,尺寸与熔铸炉堂匹配,(2)上述氮化硅脱模剂采用去离子水或经阳离子交换树脂提纯的重量百分比为0.05~5%的聚乙烯醇水溶液为调料,涂于模具内壁。
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