[实用新型]一种观察窗防沉积装置及蒸镀设备有效

专利信息
申请号: 202321267317.2 申请日: 2023-05-23
公开(公告)号: CN219621246U 公开(公告)日: 2023-09-01
发明(设计)人: 臧世伟;刘文卿 申请(专利权)人: 重庆金美新材料科技有限公司
主分类号: C23C14/52 分类号: C23C14/52;C23C14/24;C23C14/56
代理公司: 深圳市深可信专利代理有限公司 44599 代理人: 李宇绘
地址: 404100 重庆市綦江*** 国省代码: 重庆;50
权利要求书: 暂无信息 说明书: 暂无信息
摘要: 实用新型公开了一种观察窗防沉积装置及蒸镀设备,所述观察窗防沉积装置包括设在蒸镀机本体上的观察窗,观察窗在其内侧设置有固定在蒸镀机本体内部一侧的防沉积组件,所述防沉积组件包括遮挡槽,所述遮挡槽前端具有位置适配所述观察窗的开口,所述遮挡槽两侧分别设置有固定在蒸镀机本体上的放卷组件及收卷组件,所述放卷组件用于放出透明薄膜,所述透明薄膜将所述开口覆盖。所述蒸镀设备包括所述观察窗防沉积装置。该种观察窗防沉积装置及蒸镀设备可在保证观察窗正常观察的情况下壁面金属薄膜覆盖在观察窗上,不会影响正常的观察行为,也不需要耗费大量人力物力去清洗观察窗上的金属薄膜,节省人力物力。
搜索关键词: 一种 观察窗 沉积 装置 设备
【主权项】:
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