[实用新型]一种真空镀膜机的靶材绝缘保护结构

摘要

本实用新型公开了一种真空镀膜机的靶材绝缘保护结构，包括阴极座，所述阴极座的外侧壁下端面上卡接有靶材绝缘套，所述靶材绝缘套包括有卡套，所述卡套的外侧壁靠上端的位置设置有第一护套槽，所述卡套的外侧壁底部的位置设置有第二护套槽，所述卡套的上端面固定连接有连接套，所述连接套的下端面两侧位置开设有固定盘安装槽，所述连接套上端面固定连接有顶部卡环。本实用新型中，通过设置在靶材绝缘套外侧增加保护套，有效隔绝长时间工作时内部靶材高温颗粒溅射到靶材绝缘套上，防止高温颗粒烧损靶材绝缘套导致靶材绝缘套与内部靶材间连电；增加保护套，延长靶材绝缘套的使用寿命。