[实用新型]加热装置和热性能检测系统有效
| 申请号： | 202320696372.7 | 申请日： | 2023-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN219842447U | 公开（公告）日： | 2023-10-17 |
| 发明（设计）人： | 韩俭;韩瑶川 | 申请（专利权）人： | 比亚迪半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/02 | 分类号： | G01R1/02;G01R31/26 |
| 代理公司： | 北京景闻知识产权代理有限公司 11742 | 代理人： | 卢春燕 |
| 地址： | 518119 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种加热装置和热性能检测系统，其中，加热装置用于半导体器件加热，加热装置包括：腔体，腔体限定出容纳腔，腔体上设置有保护气体输入部，保护气体输入部用于在对待测半导体器件进行加热向容纳腔内输入保护气体；装载结构，装载结构具有用于装载待加热半导体器件的装载部；加热模块，加热模块设置在容纳腔内，用于对装载部上的待加热半导体器件进行加热。通过向加热装置中充入流动的保护气体，使得待测半导体器件在加热和降温的过程中能够隔离氧气，进而达到防止器件氧化的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 加热 装置 性能 检测 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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