[实用新型]一种减薄设备有效
| 申请号： | 202320517218.9 | 申请日： | 2023-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN219767773U | 公开（公告）日： | 2023-09-29 |
| 发明（设计）人： | 刘远航;马旭;李森;靳凯强;路新春 | 申请（专利权）人： | 华海清科股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B27/00 | 分类号： | B24B27/00;B24B41/02;B24B41/04;B24B41/06;B24B47/12;B24B1/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 300350 天*** | 国省代码： | 天津;12 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种减薄设备，包括：设备前端模块，用于实现晶圆的进出，所述设备前端模块设置在所述减薄设备的前端；磨削模块，用于对至少两片晶圆同时进行粗磨削和/或精磨削，所述磨削模块设置在所述减薄设备的末端；抛光模块，用于在完成磨削之后对至少两片晶圆同时进行化学机械抛光，所述抛光模块邻接所述磨削模块设置；两个对称分布的清洗模块，位于抛光模块和设备前端模块之间；两个对称分布的传输模块，分别位于抛光模块的两侧。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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