[实用新型]一种半导体零件清洗后烘干装置

摘要

本实用新型公开了一种半导体零件清洗后烘干装置，包括外箱体，所述外箱体的底部嵌装有内箱体，所述外箱体的顶部安装有出风结构，所述外箱体内且位于所述内箱体的顶部安装有集水槽，所述内箱体内安装有水泵，本实用新型涉及半导体加工技术领域,该半导体零件清洗后烘干装置，通过第一气泵与第二气泵的相互配合，可以使外箱体内形成气流，穿过第一夹板以及第二夹板，对安置在二者之间的零件进行烘干，电机可以带动第一夹板与第二夹板转动，这样就可以使零件两侧充分与气流接触，提高烘干效率以及减少烘干的死角，尽可能减少工人反复对零件翻面，装置本身也可以达到工人对零件反复翻面才能达到的烘干效果，降低劳动成本。