[实用新型]一种LTP片状等离子集尘模块

摘要

本实用新型公开了一种LTP片状等离子集尘模块，采用由高分子片涂覆石墨导电涂层制作的集尘片，导电涂层呈w型涂覆，片装间距可调，增大石墨烯导电涂层扩大接触面积，提高了单次集尘效率，可达95％以上，提高集成装置的容尘效率，具有超强的电磁场吸附效率。相比于蜂窝状的高分子材料制作的集尘模块，本结构不会形成水膜，更容易清洗、有更小的阻力，清理或冲洗后即可回复过滤功能，可以反复使用，净化能力持续有效；且片状结构的集尘片使得连接导线或导电涂层的导电面积增加，进一步增强集尘效率，提高空气的净化效果，降低制造成本。