[发明专利]一种用于基板磨削的搬运装置和基板磨削装备在审
| 申请号： | 202311154280.7 | 申请日： | 2023-09-08 |
| 公开（公告）号： | CN116944973A | 公开（公告）日： | 2023-10-27 |
| 发明（设计）人： | 路新春;李小娟;马旭;靳凯强;刘远航;赵德文 | 申请（专利权）人： | 华海清科（北京）科技有限公司;华海清科股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B7/22 | 分类号： | B24B7/22;B24B41/00;B24B41/06;B24B1/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100000 北京市大兴区经济技*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种用于基板磨削的搬运装置和基板磨削装备，所述搬运装置包括固定座、摆臂和装载头，所述装载头设置于摆臂的端部并绕固定座摆动；所述装载头包括：导向轴，其竖向设置于所述摆臂的端部；第一吸盘，其滑动连接于所述导向轴；弹性件，其套设于导向轴的外侧并位于摆臂与第一吸盘之间；第二吸盘，其设置于导向轴的下端；装载基板时，下移的装载头使得第一吸盘抵接于基板，沿导向轴下移的第二吸盘抵接于基板，对第二吸盘抽真空以吸附基板；吸附有基板的装载头继续下移，使得第一吸盘和第二吸盘同时抵接于基板，对第一吸盘抽真空以吸附基板。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 磨削 搬运 装置 装备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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