[发明专利]一种微波等离子体装置在审
| 申请号： | 202310904924.3 | 申请日： | 2023-07-21 |
| 公开（公告）号： | CN116939939A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 魏浩胤;谭夏智;张晓达;文定 | 申请（专利权）人： | 湖南微朗科技有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46;H05H1/28 |
| 代理公司： | 深圳市六加知识产权代理有限公司 44372 | 代理人： | 许铨芬 |
| 地址： | 410100 湖南省长沙市长沙经济技*** | 国省代码： | 湖南;43 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及等离子体物理及应用科学研究领域，公开了一种微波等离子体装置，包括谐振腔、真空腔以及依次连接的微波发生器、环形器、三销钉微波调谐器、微波模式转换器、短路活塞，谐振腔的两端分别连接微波模式转换器和真空腔，微波模式转换器上设有伸入谐振腔内部的微波天线，谐振腔和真空腔之间设有石英窗口，石英窗口用于隔离谐振腔和所述真空腔；其中，沿所述真空腔的轴向，真空腔两端的尺寸均大于真空腔中部的尺寸。通过上述方式使得真空腔中部的电场分布最强，以便在该位置激发产生稳定的等离子体，避免在其他区域产生次生等离子体，另外，本申请的微波等离子体装置无需点火，避免了因点火引入杂质的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微波 等离子体 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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