[发明专利]曲线模式分段的半导体制造无监督异常检测方法及设备有效
| 申请号： | 202310885077.0 | 申请日： | 2023-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN116610938B | 公开（公告）日： | 2023-10-10 |
| 发明（设计）人： | 谢箭;郑捷;陈祥一;赵文政;刘林平 | 申请（专利权）人： | 合肥喆塔科技有限公司 |
| 主分类号： | G06F18/213 | 分类号： | G06F18/213;G06F18/241;G06F18/2433;H01L21/66 |
| 代理公司： | 合肥兴东知识产权代理有限公司 34148 | 代理人： | 苗娟 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市中国(安徽)自由贸易试*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明的一种曲线模式分段的半导体制造无监督异常检测方法及设备，包括以下步骤，首先采用信号处理技术对传感器曲线进行模式分割，之后针对不同的曲线模式提取不同的统计特征；最后构建基于密度的局部异常因子检测的无监督机器学习分类模型，实现精准的异常检测。本发明认为不同的曲线模式需要提取的特征是不同的，首先采用信号处理技术对传感器曲线进行模式分割，这一步的目的是依据曲线模式自动划分管控窗口，解决了人工参与过多和窗口划分不合理的问题。之后针对不同的曲线模式提取不同的统计特征，进行快速、高效的特征提取。最后构建基于密度的局部异常因子检测的无监督机器学习分类模型，实现精准的异常检测。 | ||
| 搜索关键词： | 曲线 模式 分段 半导体 制造 监督 异常 检测 方法 设备 | ||
【主权项】：
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