[发明专利]一种复合型光波导端面耦合器在审
| 申请号： | 202310882652.1 | 申请日： | 2023-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN116859523A | 公开（公告）日： | 2023-10-10 |
| 发明（设计）人： | 李智勇;殷煜翔;于航;涂东河;于治国;关欢;田立飞;姜磊 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | G02B6/30 | 分类号： | G02B6/30;G02B6/12;G02B6/122;G02B6/14 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 肖慧 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开一种复合型光波导端面耦合器，包括：硅衬底(1)、埋氧层(2)、第一波导层、第二波导层和二氧化硅包层(3)；所述第一波导层包括条形过渡波导(5)和脊形波导(6)；所述条形过渡波导(5)生长在所述埋氧层(2)的中线上，依次包括第一过渡段(51)、第二过渡段(52)和第三过渡段(53)，所述第一过渡段(51)和所述第三过渡(53)段为倒锥形，所述第二过渡段(52)为矩形；所述脊形波导(6)包括平板波导和脊波导，所述平板波导和所述脊波导为倒锥形；所述二氧化硅包层(3)生长在所述埋氧层(2)和所述第一波导层上；所述第二波导层为氮化硅波导(4)，位于所述二氧化硅包层(3)中部，平行与所述埋氧层(2)的中线。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 复合型 波导 端面 耦合器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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