[发明专利]一种声表面波滤波器结构及制备方法在审
| 申请号： | 202310864870.2 | 申请日： | 2023-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN116865704A | 公开（公告）日： | 2023-10-10 |
| 发明（设计）人： | 刘绍侃;陈小兵;蒋燕港;李强 | 申请（专利权）人： | 北京中讯四方科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H3/08 |
| 代理公司： | 北京华清迪源知识产权代理有限公司 11577 | 代理人： | 郑兴旺 |
| 地址： | 100094 北京市海淀区丰*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本申请公开了一种声表面波滤波器结构及制备方法，涉及声表面波滤波器技术领域，包括衬底层、第一高阻层、第二高阻层、低阻层、压电层以及叉指换能器，衬底层、第一高阻层、第二高阻层、低阻层、压电层以及叉指换能器从下到上依次设置，衬底层采用高纯度单晶硅，第一高阻层采用氮化铝，第二高阻层采用碳化硅，低阻层采用二氧化硅，压电层采用钽酸锂，叉指换能器采用铜或铝铜合金。本申请提供的声表面波滤波器结构具有传输损耗低、高机电耦合系数、高温度稳定性以及耐高功率的优点，能够满足5G和6G通信技术的发展。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 表面波 滤波器 结构 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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