[发明专利]一种生瓷复合材料及用其制备晶圆搬运臂的制备方法在审
| 申请号： | 202310852247.5 | 申请日： | 2023-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN116854467A | 公开（公告）日： | 2023-10-10 |
| 发明（设计）人： | 赵元亚;崔思远;文国昇;金从龙 | 申请（专利权）人： | 江西兆驰半导体有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/48 | 分类号： | C04B35/48;C04B35/622;C04B35/64 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 徐超 |
| 地址： | 330000 江西省南昌市*** | 国省代码： | 江西;36 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 发明提供了一种生瓷复合材料及用其制备晶圆搬运臂的制备方法，生瓷复合材料包括：包括粘结剂、烧结助剂、增塑剂、分散剂、陶瓷粉末，其中，粘结剂包括P溶剂和O溶剂，P溶剂的含量为1wt％‑1.5wt％，粘度为60cps‑70cps，O溶剂的含量为3wt％‑6.5wt％，粘度不小于4800cps，烧结助剂的含量为3.5wt％‑5wt％，增塑剂的含量为2wt％‑10wt％，分散剂的含量为2wt％‑4wt％，其余部分为陶瓷粉末，本申请提供的生瓷复合材料硬度高、抗氧化性强，耐磨性强，制备的晶圆搬运臂可靠性高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 复合材料 制备 搬运 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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