[发明专利]一种铝硅靶材及其制备方法与应用在审
| 申请号： | 202310837030.7 | 申请日： | 2023-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN116695035A | 公开（公告）日： | 2023-09-05 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;周敏;陈勇军;周友平 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C22F1/043 | 分类号： | C22F1/043;C22C21/02;C23C14/35;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 牛海燕 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及一种铝硅靶材及其制备方法与应用，所述制备方法包括如下步骤：(1)对铝硅靶坯进行预热再锻造，得到热锻靶坯；(2)对所得热锻靶坯依次进行第一热处理、第二热处理和第三热处理，得到轧制靶坯；所述第一热处理和第二热处理之间还包括第一压制；所述第二热处理和第三热处理之间还包括第二压制；(3)对所得轧制靶坯进行机加工，得到所述铝硅靶材。本发明设计了一种铝硅靶材的制备工艺，通过三次热处理并在间隙进行两次轧制，对靶材的内部结构的晶向占优进行了调控，优化了内部的组织结构，从而确保了薄膜质量及成品率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 铝硅靶材 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于宁波江丰电子材料股份有限公司，未经宁波江丰电子材料股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202310837030.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种硝基氯苯尾气的处理装置
- 下一篇：一种高抗冲ASA颗粒料及其制备方法
