[发明专利]带有气体提纯装置的氮化硅生产反应釜在审
申请号: | 202310815266.0 | 申请日: | 2023-07-05 |
公开(公告)号: | CN116920759A | 公开(公告)日: | 2023-10-24 |
发明(设计)人: | 欧阳艳青;袁莺 | 申请(专利权)人: | 江西富鸿金属有限公司 |
主分类号: | B01J19/18 | 分类号: | B01J19/18;B08B9/087;B02C13/18;C01B21/068 |
代理公司: | 南京鼎坤专利代理事务所(普通合伙) 32681 | 代理人: | 王芳芳 |
地址: | 343100 *** | 国省代码: | 江西;36 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本发明涉及反应釜技术领域,且公开了一种带有气体提纯装置的氮化硅生产反应釜,包括反应釜本体,所述反应釜本体的顶部与驱动电机的底部固定连接,所述反应釜本体设置有气体提纯机构,所述驱动电机设置有搅拌机构,所述反应釜本体设置有清理机构,所述气体提纯机构包括:气泵,所述气泵的侧壁与反应釜本体的内壁固定连接,该带有气体提纯装置的氮化硅生产反应釜设置有气体提纯机构,催化气体经气泵抽出经过气体提纯器后,内输送管将气体输送到滑动模组底部的增压器中,再通过排气喷头释放,通过控制环形轨道设置的滑动模组来对反应釜本体内释放气体,该机构解决了传统气体提纯装置无法对反应釜内壁均匀释放气体的问题。 | ||
搜索关键词: | 带有 气体 提纯 装置 氮化 生产 反应 | ||
【主权项】:
暂无信息
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