[发明专利]一种半导体图像分割方法在审
| 申请号： | 202310772379.7 | 申请日： | 2023-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN116740717A | 公开（公告）日： | 2023-09-12 |
| 发明（设计）人： | 郑晓妍 | 申请（专利权）人： | 上海大学 |
| 主分类号： | G06V20/70 | 分类号： | G06V20/70;G06V10/26;G06V10/77;G06V10/80;G06V10/82;G06N3/0455;G06N3/0442;G06N3/0464;G06N3/048 |
| 代理公司： | 济南鼎信专利商标代理事务所(普通合伙) 37245 | 代理人： | 贾国浩 |
| 地址： | 201900*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种半导体图像分割方法，主要涉及人工智能和计算机视觉技术领域；包括步骤：S1、构建半导体图像分割模型；S2、将半导体图像的输入图像转换成序列嵌入；S3、补丁进入Encoder部分；S4、特征进入Bottleneck部分；S5、特征进入Decoder部分；S6、编码器提取的上下文特征通过Skip Connection以及Attention Gate，与解码器的多尺度特征融合；S7、特征被应用到线性投影层，输出像素级的半导体图像故障的分割预测；本发明能够及时发现和解决问题、优化制造工艺、避免因制造缺陷而浪费材料和人力资源、降低制造成本、确保半导体芯片的质量和产量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 图像 分割 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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