[发明专利]一种具备高热力学稳定性和弹光系数的改性SU-8胶型光弹性薄膜及其制备方法

摘要

本发明公开了一种具备高热力学稳定性和弹光系数的改性SU‑8胶型光弹性薄膜及其制备方法，通过该方法制备所获得改性SU‑8胶型光弹性薄膜，相较于未改性SU‑8胶型薄膜，热力学稳定性和弹光系数提升明显，包括以下制备步骤：(1)将Omnicoat胶滴附于氧化硅片之上，匀胶获得Omnicoat层；(2)超声使羟基化石墨烯与SU‑8胶溶液混合均匀，制备获得改性SU‑8胶溶液，于氧化硅片上匀胶获得改性SU‑8胶层；(3)设定紫外曝光能量，调整掩膜版，实现薄膜结构向Omnicoat层和SU‑8胶层的转移；(4)将样品放入SU‑8胶专用显影液中，去除SU‑8层未曝光部分；(5)将样品放入MF319显影液中，去除Omnicoat层未曝光部分；(6)将样品放入SU‑8胶专用去胶液中，制备得到改性SU‑8胶型光弹性薄膜。