[发明专利]芯片检测方法在审
| 申请号： | 202310660657.X | 申请日： | 2023-06-05 |
| 公开（公告）号： | CN116660283A | 公开（公告）日： | 2023-08-29 |
| 发明（设计）人： | 佘宽;彭琪;宋克江;叶杨椿;魏秀强;罗中祥;郭芳;闫大鹏 | 申请（专利权）人： | 武汉锐科光纤激光技术股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;G01N21/01;G01N21/88 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 杨婉秋 |
| 地址： | 430000 湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本申请实施例公开了一种芯片检测方法，应用于芯片检测装置，芯片检测装置包括摄像组件，芯片检测方法包括响应于用户选择的拍摄模式，调节摄像组件的拍摄光路，以使摄像组件拍摄到的芯片图像可显示出待检测芯片的表面缺陷，控制摄像组件对待检测芯片进行拍摄取像，得到待检测芯片的待检测图像，基于待检测图像对待检测芯片进行表面缺陷检测，得到待检测芯片的检测结果。采用本发明实施例，能够在不改变光源的情况下对待检测芯片进行表面缺陷检测，不仅提高了待检测芯片的表面缺陷检出率，还提高了待检测芯片的表面缺陷检测效率。 | ||
| 搜索关键词： | 芯片 检测 方法 | ||
【主权项】：
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