[发明专利]一种能实现四点压膜的真空压膜结构在审
| 申请号： | 202310630148.2 | 申请日： | 2023-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN116456604A | 公开（公告）日： | 2023-07-18 |
| 发明（设计）人： | 王加林;罗浩 | 申请（专利权）人： | 有为半导体技术（广东）有限公司 |
| 主分类号： | H05K3/00 | 分类号： | H05K3/00 |
| 代理公司： | 深圳市中科创为专利代理有限公司 44384 | 代理人： | 谢志龙;冯建华 |
| 地址： | 528200 广东省佛山市南海*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明适用于压膜设备领域，提供了一种能实现四点压膜的真空压膜结构，包括上动板和下基础板，上动板设有上真空框，下基础板设有下真空框，上真空框和下真空框组合成真空腔体，上真空框内设有上加热组件，下真空框内设有下加热组件，上动板设有四个加压油缸，每一加压油缸的输出轴穿过上动板与上加热组件连接，下基础板的下方设有驱动油缸，每一驱动油缸的输出轴与上动板连接；由驱动气缸驱动上动板使得上真空框个下真空框的合拢，再由加压气缸驱动上加热组件以实现与下加热组件的紧密压紧，使得膜材和基板有效压合，两套施压装置可以避免压力分散，保证各分运动的施加压力有效和准确，可以更好的保证区域受力均匀和压膜效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 实现 四点 真空 膜结构 | ||
【主权项】：
暂无信息
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