[发明专利]像差的预算范围确定方法、装置、存储介质及计算机设备在审
| 申请号： | 202310619748.9 | 申请日： | 2023-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN116819895A | 公开（公告）日： | 2023-09-29 |
| 发明（设计）人： | 韦亚一;王嘉硕;苏晓菁;董立松;范泰安;朱奕华;李晨;沈浩 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京中强智尚知识产权代理有限公司 11448 | 代理人： | 孟姣 |
| 地址： | 100020 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种像差的预算范围确定方法、装置、存储介质及计算机设备，应用于光刻系统。其中方法包括：获取多个目标泽尼克单项，其中，目标泽尼克单项为泽尼克多项式的多个泽尼克单项中，与光刻系统基于泽尼克多项式的曝光结果间的因果相关性满足第一预设条件的泽尼克单项；对泽尼克多项式进行拟合确定性筛选，在泽尼克多项式中确定出目标二阶耦合项，并基于目标泽尼克单项，获得目标泽尼克单项对应的高阶耦合项；基于目标泽尼克单项、目标二阶耦合项以及高阶耦合项，建立解析模型，并基于随机实验对解析模型进行拟合，得到拟合模型；基于预先确定的曝光结果区间，通过拟合模型得到像差的预算范围。上述方法能提高对像差预算范围的获取效率。 | ||
| 搜索关键词： | 预算 范围 确定 方法 装置 存储 介质 计算机 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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