[发明专利]一种硅片制绒设备及其制绒工艺

摘要

本发明公开了一种硅片制绒设备及其制绒工艺，关于硅片加工技术领域，一种硅片制绒设备，包括壳体，壳体上转动连接有多个防护门，壳体内还设置有多个反应盒，壳体上滑动连接有与反应盒相匹配的夹持组件，壳体的一端还设置有传送台，传送台上放置有花篮，硅片制绒设备还包括清液组件、反应液清洁组件和反应液检测系统，清液组件设置在壳体的上端，清液组件与夹持组件相匹配，清液组件用于硅片在进行槽体切换时对硅片上的反应液进行处理，反应液清洁组件设置在壳体的上端，反应液清洁组件用于对反应液进行自洁，反应液检测系统安装在反应盒的内部，反应液检测系统与反应液清洁组件相匹配，反应液检测系统用于检测反应液的质量。