[发明专利]一种新型三氯氢硅合成炉在审
| 申请号： | 202310603467.4 | 申请日： | 2023-05-26 |
| 公开（公告）号： | CN116621182A | 公开（公告）日： | 2023-08-22 |
| 发明（设计）人： | 彭浩;樊东昊;王国林;王倩;彭孝天;翟鑫钰 | 申请（专利权）人： | 南京工业大学;江苏福斯特石化装备有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 南京有岸知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32757 | 代理人： | 王磊 |
| 地址： | 211899 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及硅产业化工生产技术领域，具体为一种新型三氯氢硅合成炉，包括炉体、供气段、气体分流模组、反应机构、换热系统、硅粉喷射装置、以及出料段，供气段和气体分流模组的连接处设有用来导引气体向上流动的分流孔板，分流孔板板面上设有若干环形错位分布的轴向通孔，每个通孔上装配有对应尺寸且将气体吹向多个方向的气体喷管组件，反应机构中部的壁面上斜向下设置有硅粉喷射装置，出料段内部为中空结构，其顶端设置有用来收集反应得到三氯氢硅合成气体的出气口，未完全反应的硅粉通过出料段侧壁面的沉降口分离排出；本发明提高硅粉和氯化氢气体的反应效率，提高炉温控制精度及响应速度，保障产物合成效率及产品质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 三氯氢硅 合成 | ||
【主权项】：
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