[发明专利]多晶硅还原炉电源的电压控制方法、装置和计算机设备在审
申请号: | 202310587909.0 | 申请日: | 2023-05-23 |
公开(公告)号: | CN116700411A | 公开(公告)日: | 2023-09-05 |
发明(设计)人: | 谭黎军;苏钟焕;杨圣彬;吴朝贤;阴祖强;张世崇;付欢球;陈光胜;王晶;赵孟娇;李纯源 | 申请(专利权)人: | 特变电工衡阳变压器有限公司 |
主分类号: | G05F1/56 | 分类号: | G05F1/56;C01B33/021 |
代理公司: | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 邓丹 |
地址: | 421001 湖南省衡阳*** | 国省代码: | 湖南;43 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本申请涉及一种多晶硅还原炉电源的电压控制方法、装置、计算机设备、存储介质和计算机程序产品。所述方法包括:根据多晶硅还原炉电源当前所处阶段确定对应的初始电流,获取多晶硅的测量数据,根据初始电流和多晶硅的测量数据计算电压偏差值,根据电压偏差值和多晶硅的测量数据得到预期电压,根据多晶硅还原炉电源的工作模式和预期电压得到目标电压,根据目标电压对多晶硅还原炉电源进行电压控制。采用本方法能够对不同生长过程的多晶硅提供对应的准确的电压。 | ||
搜索关键词: | 多晶 还原 电源 电压 控制 方法 装置 计算机 设备 | ||
【主权项】:
暂无信息
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