[发明专利]MEMS扬声器结构、其制作方法及使用方法在审
| 申请号： | 202310551640.0 | 申请日： | 2023-05-16 |
| 公开（公告）号： | CN116567505A | 公开（公告）日： | 2023-08-08 |
| 发明（设计）人： | 王竞轩 | 申请（专利权）人： | 王竞轩 |
| 主分类号： | H04R19/02 | 分类号： | H04R19/02;H04R31/00 |
| 代理公司： | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 | 代理人： | 王锋 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市工*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种MEMS扬声器结构、其制作方法及使用方法。该MEMS扬声器结构包括：第一衬底，其第二面上形成有岛状结构和环绕岛状结构的第一槽状结构；压电材料层，其设置在第一衬底的第一面上，并与第一衬底配合形成振膜结构；第一压电极板，其设置在压电材料层上；第二压电极板，其设置在压电材料层与第一衬底的第一面之间；第一静电极板，其设置在第一槽状结构的槽底面上；第二静电极板，其设置在第二衬底的顶端面上，并与第一静电极板相对间隔设置。该MEMS扬声器结构具有功耗低、谐振频率可调、音域更宽等优点，并可以实现扬声器小型化和阵列化结构，能实现声音定向传播，同时其适合批量化生产，品质均一，良率高，成本低。 | ||
| 搜索关键词： | mems 扬声器 结构 制作方法 使用方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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