[发明专利]一种提升抗激光损伤能力的熔石英元件表面联合处理方法在审
| 申请号： | 202310510158.2 | 申请日： | 2023-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN116462418A | 公开（公告）日： | 2023-07-21 |
| 发明（设计）人： | 孙来喜;何洪途;邹蕊矫;刘新祺;余家欣;郑天然;王方;李青山 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心;西南科技大学 |
| 主分类号： | C03C15/00 | 分类号： | C03C15/00;C03C23/00;C03B25/00 |
| 代理公司： | 绵阳远卓弘睿知识产权代理事务所(普通合伙) 51371 | 代理人： | 张忠庆 |
| 地址： | 621000 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： |
本发明公开了一种提升抗激光损伤能力的熔石英元件表面联合处理方法，包括：将熔石英元件在乙醇中超声清洗，去除掉表面的灰尘和油渍，然后将熔石英元件置于去离子水中超声清洗；将清洗后的熔石英元件置于平行板放电蚀刻器中进行反应离子刻蚀，刻蚀后采用无机酸对元件表面进行清洗，然后用去离子水清洗并晾干；将清洗好的熔石英元件置于高温退火炉中，进行高温退火处理；将高温退火处理之后的熔石英元件置于H |
||
| 搜索关键词： | 一种 提升 激光 损伤 能力 石英 元件 表面 联合 处理 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国工程物理研究院激光聚变研究中心;西南科技大学，未经中国工程物理研究院激光聚变研究中心;西南科技大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202310510158.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种瓦楞纸箱生产用纸浆混合装置
- 下一篇：一种罗茨转子型线设计方法
