[发明专利]一种感光性树脂组合物、感光性树脂片及其应用在审
| 申请号： | 202310501747.4 | 申请日： | 2023-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN116560188A | 公开（公告）日： | 2023-08-08 |
| 发明（设计）人： | 张翠红;韩兵;唐衍超;李铭新;刘林强 | 申请（专利权）人： | 波米科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/027 |
| 代理公司： | 济南泉城专利商标事务所 37218 | 代理人： | 贾波 |
| 地址： | 252300 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种感光性树脂组合物、感光性树脂片及其应用，所述感光性树脂组合物包含(A)光聚合性环氧化合物、(B)碱可溶性树脂、(C)光引发剂、(D)添加剂，其中，(A)光聚合性环氧化合物具有特殊的结构，且(B)碱可溶性树脂为碱可溶性聚酰亚胺、碱可溶性聚酰亚胺前体中的至少一种。本发明感光性树脂组合物能够在曝光后通过碱性显影液显影，分辨率高、留膜率高、力学性能优异，具有广泛的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 感光性 树脂 组合 及其 应用 | ||
【主权项】：
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