[发明专利]一种硅片外延生长基座支撑架及装置在审
| 申请号： | 202310465380.5 | 申请日： | 2023-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN116497440A | 公开（公告）日： | 2023-07-28 |
| 发明（设计）人： | 梁鹏欢 | 申请（专利权）人： | 西安奕斯伟材料科技股份有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/12 | 分类号： | C30B25/12;C30B23/02;C30B19/06 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 黄灿 |
| 地址： | 710000 陕西省西安市*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本公开提供一种硅片外延生长基座支撑架及装置，该基座支撑架包括：支撑柱；及，从所述支撑柱的纵向轴线开始径向向外且沿轴向向上延伸的多根支撑臂，所述支撑臂包括在其轴向向上延伸方向上相对的第一端和第二端，所述第一端连接至所述支撑柱，所述第二端与所述支撑柱一起支撑用于承载硅片的基座；每个所述支撑臂上设有凸透镜，且多根所述支撑臂上所对应的多个所述凸透镜被配置为：在所述支撑柱轴向上，多个所述凸透镜能够将辐射热能经由所述凸透镜折射，并朝向所述基座上所承载的硅片上的预定区域处汇聚。本公开提供的硅片外延生长基座支撑架及装置可提高外延层电阻率均一性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 外延 生长 基座 支撑架 装置 | ||
【主权项】：
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